3.2.18. Провести окончательную очистку подложки. Поместить подложку в посуду с этиловым спиртом, кипятить 1 мин, сушить в парах спирта.
3.2.19. Контроль качества визуально под микроскопом каждой подложки.
Требования безопасности.
1. Все работы выполнять в белых халатах, шапочках и тапочках.
2. При выполнении данного техпроцесса необходимо выполнять правила по технике безопасности согласно следующим инструкциям:
а) УЭ 0.019.111И «Инструкция по технике безопасности и производственной санитарии для лаборатории микроэлектроники».
б) «Инструкция по эксплуатации установки проявления фоторезиста ПФ».
в) «Инструкция по эксплуатации установки нанесения фоторезиста ПНФ-1».
3. Диоксан – бесцветная прозрачная жидкость со слабым приятным запахом. Ядовит. Легко воспламеняется. С водой и органическими растворителями смешивается во всех соотношениях. Проникает в организм человека через дыхательные пути и кожу.
Меры предосторожности:
3.1. Работать только в перчатках.
3.2. Проверять исправность приточно-вытяжной вентиляции.
3.3. Все работы с диоксаном производить в вытяжном шкафу.
3.4 Позитивный фоторезист ФП-9120 – вязкая прозрачная жидкость оранжевого цвета, представляющая собой раствор светочувствительных продуктов и новолачной в диоксане. На свету разлагается, огнеопасен. Хранить только в темной таре, с плотно закрывающейся крышкой. Работать с фоторезистом при исправной приточно-вытяжной вентиляции в перчатках и при красном цвете.
Оборудование, технологическая оснастка и инструмент:
Микроскоп тип МБС-1 (ТУ3-3.201-71), полуавтомат нанесения фоторезиста ПНФ – тип “Корунд”, рамка экспонирования (УЭ 7893-4057), противень для подложек (УЭ 7878-4139), установка совмещения и экспонирования ЭМ-526 (Я2М2.252.005ФО), державка подложек (УЭ 7893-4060), установка сушки и дубления фоторезиста УСДФ-1, шкаф вытяжной 2ШНЖ (ТУ 95.7028-73), термометр ртутный стеклянный до 150°С (ГОСТ 9871-75), чашка выпарительная (ГОСТ 91417-73), микроскальпель (УЭ 7814-4068), секундомер (ГОСТ 5072-72), кассета для подложек (УЭ 7893-4411), пинцет 7814-0001 (МН 500-60), фторопластовая ванна для травления (УЭ 5682-4694), тара для подложек (УЭ 7878-4229).
Материалы:
Фоторезист ФП-9120 (ТУ 6-14-632-76), фильтры обеззоленные “Синяя лента” (ТУ 6-09-1678-72), диоксан сцинтилляционный (ГОСТ 10455-75), батист отбеленный безворсированный 1402 1с (ГОСТ 8474-64), спирт этиловый ректифицированный 1 сорт (ГОСТ 5962-67), ацетон (ГОСТ 2603-71), вода дистиллированная (ГОСТ 6709-72), перчатки хирургические (ГОСТ 3-75), напальчники (ГОСТ 14681-69), HF (ГОСТ 10484-73), HNO3 (ГОСТ 4461-67), H3PO4 (ГОСТ 4328-77), Na3PO4 (ГОСТ 4328-77).
4.3.1. Положить подложки в ванну с диметилформамидом на 12 часов.
4.3.2. После того, как фоторезист набухнет промыть подложки дистиллированной водой, используя при этом батист.
4.3.3. Проверить качество травления под микроскопом.
4.3.4. Провести окончательную очистку подложки. Поместить подложку в посуду с этиловым спиртом, кипятить 1 мин, сушить в парах спирта.
Оборудование, технологическая оснастка и инструмент:
Микроскоп тип МБС-1 (ТУ3-3.201-71), вытяжной шкаф ШНЖ (ТУ 95.7028-73), дистиллятор Д-4, секундомер (ГОСТ 5072-72), кассета для подложек (УЭ 7893-4411), фторопластовая ванна для травления (УЭ 5682-4694), пинцет 7814-0001 (МН 500-60), тара для подложек (УЭ 7878-4229).
Материалы:
Диметилформамид (ГОСТ 13765-76), спирт этиловый ректифицированный технический высшего сорта (ГОСТ 18300-72), вода дистиллированная (ГОСТ 6709-72), перчатки хирургические (ГОСТ 3-75), напальчники (ГОСТ 14681-69).
1 Общие положения.
1.1. При работе с подложками пользоваться напальчниками, которые периодически протирать мадаполамом, смоченным спиртом.
1.2. Подложки брать только за торцы.
1.3. Режимы технологического процесса записывать в рабочий журнал.
1.4. Допускается использование другого оборудования, приборов, оснастки и тары, удовлетворяющих требованиям данной технологической инструкции.
2 Порядок контроля подложек.
2.1. Произвести очистку подложек, для чего кипятить подложки, установленные в кассету, в спирте на подогревателе растворов в течение 30 секунд.
2.2. Сушить подложки в парах спирта в течение 30 секунд.
2.3. Сушить подложки струей сжатого воздуха, пропущенного через фильтр “Фасто”.
2.4. Контролировать качество очистки 1 из 10 подложек из партии, для чего проверить подложку на смачиваемость в дистиллированной воде.
2.5. Записать результаты контроля в рабочий журнал.
2.6. Поместить подложки в тару для транспортировки-хранения, и передать подложки на следующую операцию.
Оборудование, технологическая оснастка и инструмент:
Дистиллятор(ГОСТ 7165-66), вытяжной шкаф 2ШНЖ(ТУ 95.1028-73), фильтр “Фасто”(УЭ 7887-4165), установка для сушки сжатым воздухом, подогреватель растворов, пинцет 7814-0001(МН 500-60), тара для подложек(УЭ 7878-4229), кассета фторопластовая(УЭ 7893-4059), ванночка фторопластовая.
Материалы:
Спирт этиловый ректифицированный технический высшего сорта (ГОСТ 18300-72), синтетическое моющее средство Fairy, вода дистиллированная, мадаполам(ГОСТ 7138-73), подложка, напальчники(ГОСТ 14681-69).
5.1.1. Включить вакуумную установку в соответствии с инструкцией по её эксплуатации.
5.1.2. Подготовить вакуумную камеру к напылению в соответствии с УЭ.25200.00121.
5.1.3. Установить испарители на позицию напыления:
для первого слоя (Cr) – испаритель из молибденовой ленты;
для второго слоя (Al)–испаритель из 6-и вольфрамовых проволок.
5.1.4. Подготовить подложкодержатель и контрольный образец-“Свидетель” к установке в вакуумную камеру в следующем порядке:
а) протереть подложкодержатель батистом, смоченным спиртом и уложить их на столе.
б) достать пинцетом контрольный образец из бюкса и установить его на подложкодержатель.
5.1.5. Проверить работу заслонки. Заслонка должна свободно открываться и закрываться.
5.1.6. Опустить колпак.
5.1.7. Откачать рабочую камеру до давления 5·10-5 мм рт. ст. согласно инструкции по эксплуатации.
Уважаемый посетитель!
Чтобы распечатать файл, скачайте его (в формате Word).
Ссылка на скачивание - внизу страницы.