Изучение классификационных признаков и системы условных обозначений интегральных микросхем. Изучение конструкций и методов изготовления различных типов микросхем. Исследование полосового фильтра-линии задержки на поверхностных акустических волнах, страница 3

4.  Осциллограф для измерения линии задержки.

5.  Импульсный генератор.

6.  Частотомер.

Содержание отсчета

1.  Титульный лист.

2.  Краткое изложение цели работы.

3.  Схемы экспериментальных установок.

4.  АЧХ фильтров с согласованием и без согласования.

5.  Топологический чертеж преобразователя с указанными размерами.

6.  Таблица данных по линии задержки.

7.  Вывод

Контрольные вопросы

1.  Классификация и параметры фильтров и линии задержки.

2.  Частотные характеристики фильтров нижних частот, верхних частот, полосовых и заграждающих.

3.  Типы ПАВ и их особенности.

4.  Конструкция фазовых решеток, применяемых для построения функциональных устройств на ПАВ.

5.  Линии задержки ПАВ. Их конструкция и особенности.

6.  Полосовые фильтры на ПАВ. Конструкции и характеристики.

7.  Усилители на ПАВ. Конструкции, особенности построения и работы.

8.  Материалы, применяемых для звукопроводов устройств на ПАВ, и их основные характеристики.

Л и т е р а т у р а

1.  Викторов И.А. Звуковые поверхностные волны в твердых телах. - М; Наука,1981.

2.  Поверхностные акустические волны/ Под ред. А. Одинера.  М; Мир 1981.

3.  Речецкий В.И. Акустоэлектронные компоненты.  М: Сов. радио, 1980.

4.  Морозов А.И. , Проклов В.В. , Станковский В. А. Пьезоэлектрические преобразователи для радиоэлектронных устройств.  М.: Радио и связь, 1981.

5.  Фильтры на поверхностных акустических волнах/ Под ред. Г. Меттьюза.  М.: Радио и связь, 1981.

6.  Каринский С.С. Устройства обработки сигналов на ультразвуковых поверхностных волнах.  М.:  Сов. радио, 1975.

7.  Дьелесан Э. , Руайе Г. Упругие волны в твердых телах.  М.: Наука, 1982.

8.  Дворников А.А, Огурцов В.И., Уткин Г.М. Стабильные генераторы с фильтрами на поверхностных акустических волнах. - М.: Радио и связь, 1983.

Приложение

ОСНОВНЫЕ СВОЙСТВА ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛН

В РЭА широкое применение находят элементы селекции, обработки и преобразования сигналов (фильтры, линии задержки, фазовращатели и т. д), которые классическими методами построения еще не удалось микроминиатюризировать в интегральном исполнении в широком частотном диапазоне. В настоящее время эти устройства микроминиатюризируют, используют такие явления, как поверхностные акустические волны (ПАВ).

Поверхностные акустические волны, обладая малой скоростью распространения, малыми потерями при распространении и высокой концентрацией энергии в приповерхностном слое, позволяют создавать малогабаритные компоненты электронных устройств в диапазоне от 10 МГц до единиц ГГц, которые находят применение в аппаратуре наряду с обычными компонентами.

Скорость распространения ПАВ в твердых телах приблизительно на пять порядков меньше скорости распространения электромагнитных волн, и, следовательно, элементы и устройства какой-то фиксированной частоты, работающие на волновом принципе (резонаторы, шлейфы и т.д.), будут для поверхностных волн в несколько раз меньше, чем для электромагнитной волны той же частоты.

При распространении поверхностной волны в однородном пьезодиэлектрическом анизотропном твердом теле возникают упругие колебания кристаллической решетки и одновременно электромагнитные колебания вследствие их связи с упругими колебаниями через константы пьезодиэлектрического взаимодействия.

Параметры акустических волн (фазовая скорость распространения, константа затухания по глубине, амплитуда и т.д.) зависят от упругих, пьеэлектрических, диэлектрических свойств среды, в которой акустические волны возбуждаются и распространяются.

Механические смещения основных типов поверхностных волн экспоненциально затухают с увеличением глубины. Практически вся упругая энергия волны сосредоточена, в поверхностном слое толщиной, равной длине волны λ, что на частотах более 100 МГц соответствует глубине в несколько микрон.

Скорости распространения ПАВ для основных материалов, используемых для построения функциональных устройств, лежат в диапазоне (1,6–4)3103 м/с (для электромагнитных волн - 33108 м/с). Величины скоростей для некоторых материалов приведены в табл. 5.

Таблица 5

Материал

Срез и направление распространения ПАВ

Скорость ПАВ,

Коэффициент электромеханической связи

Сульфид кадмия

С6

1,72

Германат висмута

001,110

1,68

0,07

Кварц

Y,X

3,26

0,09

Ниобат лития

Y,Z

3,48

0,24

Пьезокерамика РZТ-4

P

2,21

0,215

Простейшее функциональное устройство, использующее поверхностные волны, состоит из пьезодиэлектрической подложки, вдоль полированной поверхности которой распространяется волна, и двух преобразователей (входного и выходного), расположенных на поверхности и служащих для преобразования подводимой ВЧ энергии в механические колебания решетки и обратно.

КОНСТРУКЦИЯ И ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ УСТРОЙСТВ НА ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ

В функциональных высокочастотных устройствах, изготовленных по тонкопленочной и полупроводниковой планарной технологиям, используются в основном ПАВ Рэлея и Лява.

Волны Рэлея, распространяющиеся вблизи свободной поверхности твердого изотропного тела, имеют два компонента смещения частиц: продольный (в направлении распространения волны) и нормальный (в направлении нормали к поверхности твердого тела).

Волны Лява распространяются в неоднородных (анизотропных) структурах типа "тонкая пленка на поверхности твердого тела" и имеют только сдвиговый компонент смещения частиц, направленный вдоль поверхности перпендикулярно распространению волны.

Основные элементы устройств на ПАВ –пьезодиэлектрические преобразователи. Они осуществляют преобразование энергии электрических колебаний ВЧ в энергию упругих колебаний кристаллической решетки и обратно. Наибольшую эффективность и широкополосность имеют преобразователи типа "фазовая решетка".

1.  Конструкция фазовой решетки для ПАВ

Структура электрического поля, создаваемого преобразователем

Рис.4, а. Однофазный преобразователь (синфазный)

В преобразователе-возбудителе переменный электрический сигнал создает в подложке переменные силы (поверхностные акустические волны) за счет обратного пьезоэффекта. Для повышения эффективности преобразования в качестве решеток используют периодические структуры с N парами полосок. В таких преобразователях возбуждаемая ПАВ усиливается по мере продвижения в решетке (синфазное сложение упругих колебаний). Максимальное сложение достигается при условии акустического синхронизма: пространственный период возбуждаемого электрического поля совпадает с периодом решетки. Для однофазного преобразователя это условие имеет вид для двухфазного - . Ширину металлической полоски обычно выбирают из условия .